空調(diào)兩器真空氦檢漏系統(tǒng)靈敏度降低怎么維護(hù)？
2023.10.07
當(dāng)發(fā)現(xiàn)空調(diào)兩器真空氦檢漏系統(tǒng)的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。
這個時候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進(jìn)行清洗。具體的清洗方法如下：
先用較細(xì)的高標(biāo)號金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電及部件，這里不能用粗砂紙，因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電及部件；然后用航空汽油或丙酮和無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。整個清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導(dǎo)致磁鐵退磁，使檢漏儀的靈敏度降低。如果操作正確，經(jīng)過清洗維護(hù)后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。
空調(diào)兩器真空氦檢漏系統(tǒng)的較小可檢漏率（靈敏度），指的是在檢漏裝置在處于一個較佳的工作條件下（示漏氣體采用的是一個大氣壓的純氦），做“動態(tài)檢漏”時能檢出的較小漏孔的漏率。
1、較佳工作條件。
指被檢鍍膜設(shè)備部件的材料出氣很少，且沒有較大漏孔；檢漏裝置本身的參數(shù)調(diào)整到較佳工作狀態(tài)等。
2、動態(tài)檢漏。
指不用累積法進(jìn)行檢漏，檢漏裝置本身的真空抽氣系統(tǒng)仍正常進(jìn)行抽真空，裝置的反應(yīng)時長小于3s，3s當(dāng)中的抽氣系統(tǒng)的時間常數(shù)是小于一秒的；
3、較小可檢。
指其信號是本底噪聲的兩倍；
4、漏孔的漏率。
指干燥空氣（100kPa的壓力）經(jīng)漏孔通向真空端（遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于100kPa的壓力）的漏率。
對氦分壓變化有反應(yīng)的氦質(zhì)譜檢漏儀，為表征這種反應(yīng)特性，較好給出檢漏裝置的較小可檢濃度，即濃度靈敏度。所謂檢漏裝置的“濃度靈敏度”，指處在工作壓力下（工作壓力一般為10?2Pa~10?3Pa）的質(zhì)譜室，使用該裝置可檢示的大氣中的較小氦濃度的變化。而鍍膜設(shè)備的氦質(zhì)譜檢漏儀中的“較小可檢濃度”則為信號與裝置噪聲比為一或二時，當(dāng)中氦的濃度。
